20.無塵室使用傳統集塵設備會有二次污染嗎？濾網效率與風險完整解析

前言：無塵室最怕的不是粉塵，而是「看不到的風險」

在無塵室等級廠區中，即使是極微量的粉塵外洩，也可能造成：

• 製程良率下降

• 精密設備污染

• 品質異常與重工成本增加

因此，傳統集塵設備是否會產生二次污染，成為許多無塵室使用者最關心的問題。

一、什麼是集塵設備的二次污染？

所謂二次污染，通常來自以下情況：

• 濾網密封不良，粉塵從縫隙逸散

• 清灰噴吹時，細粉重新被帶回氣流

• 濾材效率不足，微粒穿透排出

在一般工廠可能無感，但在無塵室中影響極大。

二、傳統集塵設備是否適合無塵室？

「傳統集塵機」本身並非一定不適用，而是設計等級是否符合無塵室要求。

若具備以下條件，風險可有效控制：

• 高密封結構設計

• 穩定的負壓運轉

• 出風端加裝高效率濾網

反之，開放式或低密封設計，極易產生洩漏風險。

三、濾網過濾效率怎麼看才正確？

無塵室常見濾網等級包含：

• 高效濾網：可攔截大部分細微粉塵

• HEPA濾網：對 0.3 微米顆粒具高效率

• ULPA濾網：適用於極高潔淨等級製程

選擇時需考量：粉塵粒徑、風量、壓損與更換週期，而非只看數字。

四、如何避免清灰造成的再污染？

在無塵室應特別注意：

• 採用低擾動清灰方式

• 清灰與製程時間錯開

• 確保排風端不回流至潔淨區

這些都是降低二次污染的關鍵細節。

五、無塵室集塵系統的正確配置方向

建議採用：

• 集塵設備設置於潔淨區外

• 管路維持全程負壓

• 排氣經多段過濾後再排放

這樣才能兼顧集塵效果與無塵室潔淨度。

結論：二次污染不是設備問題，而是設計問題

無塵室使用集塵設備，真正的關鍵不在於「是不是傳統機型」，而在於濾網效率、密封設計與系統配置是否符合潔淨等級需求。
透過正確規劃，集塵設備完全可以在無塵室環境中安全運作，而不造成二次污染。

郁錩集塵設備採用自研的奈米薄膜濾網,通過ASHRAE MERV 16等級驗證,能有效攔截0.1um級以下的超細懸浮微粒。濾網等級符合無塵室與電子製 程所需的潔淨標準,並可加裝二級HEPA濾網防止二次污染,確保空氣再排放符合嚴格規範。